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J-GLOBAL ID：200902222080754862   整理番号：04A0368637

PdをキャップしたMg₂Ni薄膜に基づく室温水素センサ

Room-Temperature Hydrogen Sensor Based on Pd-Capped Mg₂Ni Thin Film

著者 (5件)： YOSHIMURA K (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  YAMADA Y (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  OKADA M (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  TAZAWA M (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN) ,  JIN P (National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 43  号： 4B  ページ： L507-L509  発行年： 2004年04月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Mg,Ni,およびPdターゲットを用いたDCマグネトロンスパ...

シソーラス用語： *ガスセンサ ,...

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分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (10件)：

• 1) A. Mandelis and C. Christofides: <I>Physics, Chemistry and Technology of Solid State Gas Sensor Devices</I> (John Wiley & Sons, New York, 1993).
• 2) S. Yamauchi: Chemical Sensor Technology (Elsevier, New York, 1992) Vol. 4.
• 3) H. Nakagawa, N. Yamamoto, S. Okazaki, T. Chinzei and S. Asakura: Sens. & Actuat. B <B>93</B> (2003) 468.
• 4) J. N. Huiberts, R. Griessen, J. H. Rector, R. J. Wijngaarden, J. P. Dekker, D. G. de Groot and N. J. Koeman: Nature 380 (1996) 231.
• 5) P. van der Sluis, M. Ouwerkerk and P. A. Duine: Appl. Phys. Lett. 70 (1997) 3356.

タイトルに関連する用語 (5件)： PD ,  キャップ ,  薄膜 ,  室温 ,  水素センサ