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J-GLOBAL ID：200902222600626757   整理番号：08A0558107

浮遊電極一方向トランスデューサでの液体用横滑り弾性表面波システム

Development of a Shear Horizontal Surface Acoustic Wave Sensor System for Liquids with a Floating Electrode Unidirectional Transducer

著者 (7件)： KONDOH Jun (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OKIYAMA Yusuke (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  MIKUNI Satoru (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  MATSUI Yoshikazu (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  NARA Makoto (Japan Radio Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  MORI Toshimasa (Japan Radio Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  YATSUDA Hiromi (Japan Radio Co., Ltd., Saitama, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 47  号： 5 Issue 2  ページ： 4065-4069  発行年： 2008年05月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 弾性表面波(SAW)デバイスを用いたセンサの開発が注目を集めている。横滑りSAW(SH-SAW)センサは液体の特性や化学反応測定できる。SAWセンサを実現するためにはその特性を議論する必要がある。この報告では浮遊電極一方向トランスデューサ(FEUDT)又は交差指電極トランスデューサ(IDT)でのSH-SAWセンサを比較して,挿入損と位相特性を測定した。その結果,FEUDTでのSH-SAWセンサは液体の測定用に適していることが分かった。FEUDTでのSHハイフンSAWセンサを新たに開発したSH-SAW検出システムに搭載した。このシステム構造はベクトル電圧測定システムの場合と同じである。しかし,寸法を減少させた回路を開発した。このシステムを用いて数種の液体を測定した。得られた結果は理論値と良く一致した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *液体粘度計 ,  *弾性表面波素子 ,  電極 ,  SH波 ,  弾性表面波 ,  挿入損 ,  位相シフト ,  蒸留水 ,  信号変換器 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： IDT ,  横滑りモード ,  浮遊電極

分類 (2件)： 粘性,粘弾性の計測法・機器  (AD05070R) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

物質索引 (1件)： エタノール

引用文献 (19件)：

• K. Nakamura: Jpn. J. Appl. Phys. 46(2007) 4421.
• K. Hashimoto: Jpn. J. Appl. Phys. 45(2006) 4423.
• J. Kondoh and S. Shiokawa: Trans. IEICE J75-C-II(1992) 224[in Japanese][Translation: Electron. Commun. Jpn., Part II 76(1993) No.2, 69].
• J. Kondoh and S. Shiokawa: in Sensors Update, ed. H. Baltes, W. Goepel, and J. Hesse (Wiley-VCH, Weinheim, 2000) Vol.6, Chap. 4, p.59.
• S. Ito, M. Sugimoto, Y. Matsui, and J. Kondoh: Jpn. J. Appl. Phys. 46(2007) 4718.

タイトルに関連する用語 (4件)： 浮遊電極 ,  トランスデューサ ,  横滑り ,  弾性表面波