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J-GLOBAL ID：200902222806890493   整理番号：06A0509481

マグネトロンスパッタリングによって蒸着した摩耗抵抗TiMoN被覆

Wear resistant TiMoN coatings deposited by magnetron sputtering

著者 (4件)： YANG Q. (Structures and Materials Performance Lab., Inst. for Aerospace Res., National Res. Council Canada, 1200 Montreal ...) ,  ZHAO L.r. (Structures and Materials Performance Lab., Inst. for Aerospace Res., National Res. Council Canada, 1200 Montreal ...) ,  PATNAIK P.c. (Structures and Materials Performance Lab., Inst. for Aerospace Res., National Res. Council Canada, 1200 Montreal ...) ,  ZENG X.t. (Singapore Inst. of Manufacturing Technol., 71 Nanyang Drive, Singapore 638075, SGP)
資料名： Wear  (Wear)
巻： 261  号： 2  ページ： 119-125  発行年： 2006年07月31日 
JST資料番号： E0377A  ISSN： 0043-1648  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 種々のMo濃度を有したTiMoN被覆を,反応マグネトロンスパ...

シソーラス用語： *セラミック被覆 ,...

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分類 (3件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (3件)： マグネトロンスパッタリング ,  蒸着 ,  摩耗抵抗