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J-GLOBAL ID：200902223081290866   整理番号：09A0703246

シリコンフォトニクスのためのファウンドリ手法:シリコンフォトニクスプラットフォームePIXfab

Towards foundry approach for silicon photonics: silicon photonics platform ePIXfab

著者 (5件)： DUMON P. (Ghent Univ., Gent, BEL) ,  BOGAERTS W. (Ghent Univ., Gent, BEL) ,  BAETS R. (Ghent Univ., Gent, BEL) ,  FEDELI J.-M. (CEA-LETI, Grenoble, FRA) ,  FULBERT L. (CEA-LETI, Grenoble, FRA)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 45  号： 12  ページ： 581-582  発行年： 2009年06月04日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンフォトニクスにより,有機物質,生体材料,ナノ材料,メタマテリアル,化合物半導体の研究は新しい段階を迎えている。シリコンフォトニクスは,短距離データ通信や生体医用応用などの大きなエコシステム市場で有望である。本論文では,IMECなどの研究所が進めているシリコンフォトニクスMPW(多重プロジェクトウエハ)サービスePIXfabについて報告した。ePIXfabの任務は,シリコンフォトニック回路用の基本的ウエハスケール技術に関する研究所主導MPWサービス提供と,設計,製造,パッケージング,試験に関する支援により,ニワトリ-卵問題の解決を促進することである。近年,PIXfabでは,IMECあるいはLETIパイロットラインファブいずれかにおける200mmウエハ上のポートフォリオにおける受動および能動シリコンフォトニック素子のためのプロセスを開発した。

シソーラス用語： オプトエレクトロニクス ,  ケイ素 ,  鋳造工場 ,  *プラットフォーム【通信】 ,  WSI【IC】 ,  ポートフォリオ ,  生態系
準シソーラス用語： ウエハー・スケール・インテグレーション ,  エコシステム ,  *シリコンフォトニクス ,  *ファウンダリ

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (3件)： シリコンフォトニクス ,  ファウンドリ ,  手法