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J-GLOBAL ID:200902223229565517   整理番号:06A0983275

磁気浮上二次元高速駆動

Magnetic Levitated 2D Fast Drive
著者 (4件):
資料名:
巻: 126  号: 12  ページ: 1678-1681  発行年: 2006年12月01日 
JST資料番号: X0451A  ISSN: 0913-6339  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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電磁機器 
引用文献 (5件):
  • (1) H. Kube, E. Saffert, A. Hofmann, and E. Kallenbach: “Electrodynamic Linear Drive with Integrated Magnetic Bearing using thin Magnetic Layers”, MOVIC'98, Fourth International Conference on Motion and Vibration Control, ETH Zürich, Schweland (1998)
  • (2) J. C. Compter: “Electro-dynamic planar motor”, Precision Engineering, Vol. 28, No. 2004, pp. 171-180 (2004)
  • (3) W. J. Kim, D. L. Trumpert, and J. H. Lang: “Linear Motor-Levitated Stage for Photolithograpy”, Annals of the CIRP, Vol. 46, pp. 447-450 (1997)
  • (4) I. Etxaniz, A. Izpizua, and J. Arana: “Six degrees of freedom Table for nanometric displacement by means of magnetic actuators”, Proc. Of 5th euspen International Conference (2005)
  • (5) H. Kube, E. Saffert, A. Hofmann, and E. Kallenbach: “Electromagnetic miniactuators and microactuators using thin magnetic layers. Smart Materials and Structures”, Proc. of the 4th European and 2nd MIMR Conference (1998)
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