抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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窒素雰囲気中において0.01以下の超低摩擦を発現するCNx膜を大気中,加熱条件(23,75,100,125,及び150°C)及び湿度条件(<5,20-30,40-50,60-70%RH)において摩擦試験を行い,雰囲気湿度と摩擦面温度がCNx膜とSi<sub>3</sub>N<sub>4</sub>球の摩擦に及ぼす影響及び,摩耗に及ぼす影響を明らかにした。摩擦面温度を室温から150°Cまで昇温・自然冷却の手順で摩擦試験をした結果,大気中室温で約0.18,150°Cで0.01-0.02,冷却後0.18となり,摩擦係数の温度に伴う変化に再現性が得られ,大気中においても0.01程度の超低摩擦の発現と,温度による摩擦係数の制御が可能であることを示した。(著者抄録)