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J-GLOBAL ID：200902224329958539   整理番号：03A0255044

硬質TiN及びDLC薄膜上に形成したフェムト秒レーザ誘起ナノ構造

Femtosecond-laser-induced nanostructure formed on hard thin films of TiN and DLC
著者 (3件)：
YASUMARU N

YASUMARU N について

(Fukui National Coll. Technol., Fukui, JPN)

Fukui National Coll. Technol., Fukui, JPN について

, 
MIYAZAKI K

MIYAZAKI K について

(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)

Kyoto Univ., Kyoto, JPN について

, 
KIUCHI J

KIUCHI J について

(Eyetec Co. Ltd., Fukui, JPN)

Eyetec Co. Ltd., Fukui, JPN について


資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing  (Applied Physics. A. Materials Science & Processing)

Applied Physics. A. Materials Science & Processing について


巻： 76  号： 6  ページ： 983-985  発行年： 2003年04月 
JST資料番号： D0256C  ISSN： 0947-8396  CODEN： APHYCC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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ステンレス鋼基板上のTiN及びDLC膜表面のナノ構造化を目的...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*レーザアブレーション

レーザアブレーション について

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準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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レーザフルエンス

レーザフルエンス について


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分類 (2件)：
分類
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レーザ照射・損傷 
(BK16040S)

レーザ照射・損傷 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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硬質

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, 
TiN

TiN について

, 
DLC薄膜

DLC薄膜 について

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フェムト秒レーザ

フェムト秒レーザ について

, 
誘起

誘起 について

, 
ナノ構造

ナノ構造 について


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