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J-GLOBAL ID：200902225148777750   整理番号：06A0872929

新しいアニオン光酸発生剤(PAG)と対応するPAG結合重合体

Novel Anionic Photoacid Genetators(PAGs) and Corresponding PAG Bound Polymers.

著者 (4件)： WANG Mingxing (Univ. North Carolina, North Carolina, USA) ,  GONSALVES Kenneth E (Univ. North Carolina, North Carolina, USA) ,  YUEH Wang (Intel Corp., Oregon, USA) ,  ROBERTS Jeanette M (Intel Corp., Oregon, USA)
資料名： Macromolecular Rapid Communications  (Macromolecular Rapid Communications)
巻： 27  号： 18  ページ： 1590-1595  発行年： 2006年09月22日 
JST資料番号： D0314B  ISSN： 1022-1336  CODEN： MRCOE3  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 芳香族スルホン酸トリフェニルスルホニウムから成るアニオン光酸...

シソーラス用語： *光酸発生剤 ,...
準シソーラス用語： ナノリソグラフィー ,...

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分類 (3件)： 重合触媒,重合開始剤  (CG04070V) ,  その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (7件)： 4-ヒドロキシスチレン ,  トリフェニルスルホニウム・4-ビニルベンゼンスルホナート ,  トリフェニルスルホニウム・4-(メタクリロイルオキシ)ベンゼンスルホナート ,  トリフェニルスルホニウム・2,3,5,6-テトラフルオロ-4-(メタクリロイルオキシ)ベンゼンスルホナート ,  トリフェニルスルホニウム・4-(イソブチリルオキシ)ベンゼンスルホナート ,  トリフェニルスルホニウム・2,3,5,6-テトラフルオロ-4-(イソブチリルオキシ)ベンゼンスルホナート ,  メタクリル酸2-エチル-2-アダマンチル

タイトルに関連する用語 (3件)： アニオン ,  光酸発生剤 ,  重合体