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J-GLOBAL ID：200902225593327683   整理番号：09A0959570

モバイル無線のための高抵抗シリコンにおける低損失BAWフィルタ

Low-Loss BAW Filters on High Resistivity Silicon for Mobile Radio

著者 (7件)： HAGELAUER A. (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU) ,  BADER B. (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  HENN G. (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  SCHAEUFELE A. (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  MARKSTEINER S. (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  WAGNER K. (EPCOS AG, Munich, DEU) ,  WEIGEL R. (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
資料名： IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest  (IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest)
巻： 2009 Vol.1  ページ： 337-340  発行年： 2009年 
JST資料番号： A0636A  ISSN： 0149-645X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 伝導チャネルの影響を2GHzバルク弾性波(BAW)フィルタでシリコン-シリコン酸化膜界面で考察した。コプレーナ導波路テスト構造の電気測定はチャネル解析を容易にした。追加バイアス電圧をテスト構造の測定に適用することにより,伝導チャネルの存在とこのチャネルでの電荷移動度を低減するための注入効果の検討を促進した。フィルタとコプレーナ導波路線路でのチャネルの影響を測定するために,標準の高抵抗率シリコンウエハーを使用して,高抵抗率シリコンウエハーを処理した。処理したウエハーは損失を低減し,フィルタ性能の改善を示した。改善は小さく見えるが,要求の厳しい仕様のW-CDMAの応用ではBAWフィルタによる影響は顕著であった。拡張シミュレーションモデルが測定した挿入減衰を反映した。

シソーラス用語： 抵抗 ,  *フィルタ ,  損失 ,  *弾性波 ,  チャネル ,  界面 ,  コプレーナ導波路 ,  テスト構造 ,  キャリア移動度
準シソーラス用語： *シリコン ,  シリコンウエハ ,  バルク高温超伝導体 ,  *モバイル ,  電荷移動度 ,  *無線

分類 (2件)： 移動通信  (ND08030H) ,  弾性表面波デバイス  (NC03120T)

タイトルに関連する用語 (4件)： モバイル ,  無線 ,  シリコン ,  低損失