透過型回折格子によって分岐されたフェムト秒レーザの干渉を用いたアブレーションによる周期的穴ライン構造

NAKATA Y; OKADA T; MAEDA M

文献

J-GLOBAL ID：200902225993631683 整理番号：03A0525449

透過型回折格子によって分岐されたフェムト秒レーザの干渉を用いたアブレーションによる周期的穴ライン構造

Lines of periodic hole structures produced by laser ablation using interfering femtosecond lasers split by a transmission grating

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巻： 77 号： 3/4 ページ： 399-401 発行年： 2003年08月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

透過型回折格子によって分岐された干渉性フェムト秒レーザを用い...

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レーザ照射・損傷 , 固体デバイス製造技術一般

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