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J-GLOBAL ID：200902226701069765   整理番号：08A0367422

二段式流量分配法による分圧真空計の較正サービス

著者 (4件)： 吉田肇 (産業技術総合研) ,  新井健太 (産業技術総合研) ,  秋道斉 (産業技術総合研) ,  平田正紘 (産業技術総合研)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 51  号： 3  ページ： 109-111  発行年： 2008年03月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 産業技術総合研究所では2007年4月より,二段式流量分配法で分圧真空計(残留ガス分析計,四重極質量分析計)の較正サービス(10^-6~10^-4Pa,試験ガス:N₂,Ar,He,H₂)を開始した。二段式流量分配法では,分子流において較正室の圧力と流量分配室の圧力の比が一定であることを利用する。本稿では較正装置と較正方法,較正の不確かさ,較正結果の例を紹介した。

シソーラス用語： 流量 ,  分配 ,  *キャリブレーション ,  *ガス分析計 ,  四重極質量分析計 ,  分圧 ,  *真空計
準シソーラス用語： 二段式流量分配法 ,  *較正

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

引用文献 (4件)：

• http://www.nmij.jp/
• YOSHIDA, H. J. Vac. Sci. Tech. A. 2008, 26, 128
• IMAI, H. Keisoku ni okeru hutashikasa no hyougen gaido (Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement). 2000
• LIESZKOVSZKY, L. J. Vac. Sci. Tech. A. 1990, 8, 5, 3838

タイトルに関連する用語 (6件)： 流量 ,  分配 ,  分圧 ,  真空計 ,  較正 ,  サービス