蛍光X線吸収微細構造により調べたTiN/Si3N4超硬多層膜に関する界面混合

PAN Zhiyun; SUN Zhihu; XIE Zhi; XU Junhua; KOJIMA Isao; WEI Shiqiang

文献

J-GLOBAL ID：200902226801241603 整理番号：06A0568709

蛍光X線吸収微細構造により調べたTiN/Si₃N₄超硬多層膜に関する界面混合

Interfacial intermixing of TiN/Si₃N₄ super-hard multilayer films studied by fluorescence x-ray absorption fine structure

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巻： 39 号： 13 ページ： 2796-2802 発行年： 2006年07月07日
JST資料番号： B0092B ISSN： 0022-3727 CODEN： JPAPBE 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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