MIM-Ru/Ta<sub>2</sub>O<sub>5</sub>/RuキャパシタにおけるRu/TiNバリア抵抗上昇機構の解明

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J-GLOBAL ID：200902226851051589 整理番号：03A0310066

MIM-Ru/Ta₂O₅/RuキャパシタにおけるRu/TiNバリア抵抗上昇機構の解明

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資料名：
巻： 50th 号： 2 ページ： 577 発行年： 2003年03月27日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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半導体集積回路 , 金属-絶縁体-金属構造

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