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J-GLOBAL ID：200902227173072844   整理番号：07A0548266

パルスDCプラズマ活性化化学蒸着によって調製したDLC-Si膜の機械的および生体適合特性

The mechanical and biocompatibility properties of DLC-Si films prepared by pulsed DC plasma activated chemical vapor deposition

著者 (7件)： BENDAVID A. (CSIRO Industrial Physics, PO Box 218 Lindfield, NSW 2070, AUS) ,  MARTIN P.j. (CSIRO Industrial Physics, PO Box 218 Lindfield, NSW 2070, AUS) ,  COMTE C. (CSIRO Industrial Physics, PO Box 218 Lindfield, NSW 2070, AUS) ,  PRESTON E.w. (CSIRO Industrial Physics, PO Box 218 Lindfield, NSW 2070, AUS) ,  HAQ A.j. (School of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of New South Wales, Sydney, AUS) ,  MAGDON ISMAIL F.s. (Biomedical Engineering, School of AMME, Univ. of Sydney, Sydney, AUS) ,  SINGH R.k. (School of Materials Sci. and Engineering, The Univ. of New South Wales, Sydney, AUS)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 16  号： 8  ページ： 1616-1622  発行年： 2007年08月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 22at%までのけい素を含むダイヤモンド状炭素(DLC-Si...

シソーラス用語： *DLC膜 ,...

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分類 (3件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  医用素材  (GA05040H)

タイトルに関連する用語 (8件)： パルス ,  DCプラズマ ,  活性化 ,  化学蒸着 ,  調製 ,  DLC ,  Si膜 ,  生体