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J-GLOBAL ID：200902227363578744   整理番号：07A1042929

原子プローブ用に調整可能ばね定数とカンチレバーを一体化した圧電アクチュエータ

PIEZOELECTRIC ACTUATOR INTEGRATED CANTILEVER WITH TUNABLE SPRING CONSTANT FOR ATOM PROBE
著者 (5件)：
KAWAI Yusuke

KAWAI Yusuke について

(Tohoku Univ., JPN)

Tohoku Univ., JPN について

, 
ONO Takahito

ONO Takahito について

(Tohoku Univ., JPN)

Tohoku Univ., JPN について

, 
MEYER Ernst

MEYER Ernst について

(Univ. Basel, CHE)

Univ. Basel, CHE について

, 
GERBER Christoph

GERBER Christoph について

(Univ. Basel, CHE)

Univ. Basel, CHE について

, 
ESASHI Masayoshi

ESASHI Masayoshi について

(Tohoku Univ., JPN)

Tohoku Univ., JPN について


資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)

Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems について


巻： 19th Vol.2  ページ： 778-781  発行年： 2006年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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Pb(Zr,Ti)O3(PZT)薄膜ア...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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片持梁

片持梁 について

,...
準シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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PZT【鉛化合物】

PZT【鉛化合物】 について


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分類 (2件)：
分類
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ロボットの設計・製造・構造要素 
(IC04013A)

ロボットの設計・製造・構造要素 について

,  圧電デバイス 
(NC03110I)

圧電デバイス について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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原子プローブ

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, 
調整可能

調整可能 について

, 
ばね定数

ばね定数 について

, 
カンチレバー

カンチレバー について

, 
一体化

一体化 について

, 
圧電アクチュエータ

圧電アクチュエータ について


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