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文献
J-GLOBAL ID:200902227557614539   整理番号:08A0441920

パターン化された発信エリアを持つナノ結晶シリコン超音波発信器

NANOCRYSTALLINE POROUS SILICON ULTRASONIC TRANSMITTER WITH PATTERNED EMISSION AREA
著者 (4件):
資料名:
巻: 20th Vol.1  ページ: 246-249  発行年: 2007年 
JST資料番号: W0377A  ISSN: 1084-6999  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ナノ結晶の多孔質シリコン(nc-PS)超音波発信器を提案する。超音波を種々の方向に発射でき,その方向パターンを干渉効果を用いて達成する。発信器の発信部は2つの発信エリア構成し,それぞれから発信した超音波を干渉させるようにパターン化されている。2つの発信エリアには交流(AC)をかけ,2つの超音波を発生させる。論文では,ACの振幅V0及び振動数ω一定である。超音波の干渉は荷電ACの位相をずらすことによりおこなう。超音波の方向は2つのパラメータによって制御する。すなわち,2つの発信エリアの間の距離,及びAC間の位相差である。実験は,エリア間距離d及び位相差Φを変化させて,超音波の強度を測定し,理論値と良好に一致することを明らかにした。
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