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J-GLOBAL ID：200902228222997308   整理番号：08A0510890

化学センサの新展開 半導体式ガスセンサの信頼性の向上

著者 (5件)： 皆越知世 (新コスモス電機 R&Dセ コスモス研) ,  前川亨 (新コスモス電機 R&Dセ コスモス研) ,  鈴木健吾 (新コスモス電機 R&Dセ コスモス研) ,  野村勝裕 (産業技術総合研 ユビキタスエネルギー研究部門) ,  蔭山博之 (産業技術総合研 ユビキタスエネルギー研究部門)
資料名： Materials Integration  (Materials Integration)
巻： 21  号： 5/6  ページ： 37-42  発行年： 2008年05月25日 
JST資料番号： L0595A  ISSN： 1344-7858  CODEN： MINTFB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 金属酸化物半導体式センサのガス選択性を長期間にわたって維持させるために,高い性能と耐久性を有する材料を検討した。ガス選択性を長期間維持するためには,触媒層材料には高い酸化活性と耐熱性が必要となる。そこで,粒径制御のために,酸化スズにセリウムをドープし,その量と結晶化温度を最適化した。得られた材料は中性子回折法によって結晶構造解析を行った結果,ドープしたセリウムはスズのサイトへ置換固溶していた。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  化学センサ ,  選択性 ,  結晶構造解析 ,  信頼性 ,  ガス漏れ ,  警報装置 ,  酸化スズ ,  セリウム ,  ドーピング ,  アルミナ ,  触媒 ,  経時変化 ,  化学選択性

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 化学センサ ,  展開 ,  ガスセンサ