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J-GLOBAL ID：200902228747934102   整理番号：08A1038463

硬X線集光ミラーのためのスティッチング干渉法に基づく高精度表面形状計測法の開発

著者 (14件)： 湯本博勝 (大阪大 大学院) ,  湯本博勝 (JASRI) ,  三村秀和 (大阪大 大学院) ,  木村隆志 (大阪大 大学院) ,  半田宗一郎 (大阪大 大学院) ,  松山智至 (大阪大 大学院) ,  佐野泰久 (大阪大 大学院) ,  西野吉則 (理研) ,  玉作賢治 (大阪大 大学院) ,  玉作賢治 (理研) ,  矢橋牧名 (JASRI) ,  石川哲也 (JASRI) ,  石川哲也 (理研) ,  山内和人 (大阪大 大学院)
資料名： 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集  (日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム)
巻： 21st  ページ： 66  発行年： 2007年12月20日 
JST資料番号： L1310A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *X線顕微鏡 ,  *反射鏡 ,  硬X線 ,  集光 ,  干渉測定 ,  Michelson干渉計 ,  *形状測定 ,  *X線ミラー ,  *表面形状
準シソーラス用語： 形状計測

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (8件)： 硬X線 ,  集光 ,  ミラー ,  スティッチング ,  干渉法 ,  表面形状 ,  計測法 ,  開発