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文献
J-GLOBAL ID:200902229228533857   整理番号:09A0876133

半導体レーザーの自己結合効果を用いた微小振動センサ

Small Vibration Sensor Using Self-Coupling Effect of Semiconductor Laser
著者 (3件):
資料名:
巻: 37  号:ページ: 619-623  発行年: 2009年08月15日
JST資料番号: X0335A  ISSN: 0387-0200  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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生産工程の自動化や省力化のため,小型で高感度なセンサに対する需要が強まっている。レーザセンサは非接触で高感度であるので,距離計測,形状測定,振動測定,速度測定,変形測定などに広く使われている。ここでは,自己結合効果を用いた微小振動センサを考案し,基準信号によってターゲットからの戻り光量に関係なく最小約5nmまでの微小振動を測定したことを報告した。測定原理,実験装置,実験結果及び検討を述べた。半導体レーザの自己結合効果を用いて,非接触でLDの半波長より小さいターゲットの微小振動を測定でき,かつ外部振動に強く,外部干渉計を持たない小型で構造が簡単なセンサを示した。センサ部を意図的にLDの半波長以上動かすことで,基準振動振幅となる基準信号を発生させ,基準信号とセンサの出力信号を正弦波補正によって比較し,レーザの入射角やターゲットの反射率などに関係なく,ターゲットの微小振動振幅を求めることができた。最小約5nmまでの微小振動振幅を測定できた。検出回路のSN比を改善することで,更に小さい微小振動振幅を測定できることを指摘した。
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分類 (3件):
分類
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その他の光デバイス  ,  振動の励起・発生・測定  ,  半導体レーザ 
引用文献 (6件):
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タイトルに関連する用語 (4件):
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