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J-GLOBAL ID:200902229553792435   整理番号:04A0418883

歪Siオン絶縁体技術 素材から素子に

Strained Si on insulator technology: from materials to devices
著者 (9件):
資料名:
巻: 48  号:ページ: 1357-1367  発行年: 2004年08月 
JST資料番号: H0225A  ISSN: 0038-1101  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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絶縁体プラットフォームの利点を実現するために二つの手法により...
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分類 (2件):
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トランジスタ  ,  半導体薄膜 
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