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J-GLOBAL ID：200902229757525584   整理番号：08A0558995

感知,走査プローブ,そして超高周波数用途向けの超高感度NEMSベースカンチレバー

Ultra-sensitive NEMS-based cantilevers for sensing, scanned probe and very high-frequency applications

著者 (3件)： LI Mo (California Inst. of Technol., California, USA) ,  TANG H. X. (California Inst. of Technol., California, USA) ,  ROUKES M. L. (California Inst. of Technol., California, USA)
資料名： Nature Nanotechnology  (Nature Nanotechnology)
巻： 2  号： 2  ページ： 114-120  発行年： 2007年02月 
JST資料番号： W2059A  ISSN： 1748-3387  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロカンチレバー力センサーによって,原子間力顕微鏡(AFM)の開発が可能となった。このAFMは,ナノサイエンスにおいて,最も重要なツールの一つであり,更に,AFMが登場したことで,走査型プローブ顕微鏡(SPM)を含む幅広い分野のカンチレバーベース感知法の発展が促された。一方,マイクロスケールサイズでは,基本モードのカンチレバー共鳴周波数の実用上限が,数メガヘルツのオーダである。SPMに関していえば,このオーダは,画像取得可能速度を決定する走査速度の上限を齎す。また,マイクロマシン技術(MEMS)作製に使用される標準手法では,ナノスケールまでに辿りつくことができない。近年,ナノ電気機械システム(NEMS)から前例のない感度が実証され,NEMSセンサーが,力と変位検知の究極的な上限へ向けて,急速に進化している。だが,このNEMSセンサーは,限られた専門家にのみ使用されるの現状である。また,NEMSセンサーを使用する上での現状の障害は,ナノスケールでの高感度な変位変換を実現することであり,しかも,NEMSを実現するには,サブナノメートルを上回る分解能を維持しつつ,超高周波数(VHF)変位を実現することが要される。本稿では,VHFまでの基本機械共鳴周波数を伴う自己感知ナノカンチレバーの製造と使用について述べた。この装置では,ピエゾ抵抗薄金属膜系の集積電子変位変換器を使用しており,この変換機により,直接的で最適なナノデバイスの読み出しが可能となる。更に,この装置は,大気圧にて平均自由工程を実現する寸法を有しており,周囲環境においても,共鳴品質係数が高いままである。このため,1アトグラムより低い前例のない質量分解能を伴って,空気中での,室温化学吸着測定が可能となる。

シソーラス用語： *片持梁 ,  *原子間力顕微鏡 ,  超小形回路技術 ,  微細加工 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  *電気機械効果 ,  圧電気 ,  *化学吸着
準シソーラス用語： カンチレバー ,  NEMS

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (8件)： 感知 ,  走査 ,  プローブ ,  高周波数 ,  用途 ,  高感度 ,  NEMS ,  カンチレバー