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J-GLOBAL ID:200902230198619741   整理番号:04A0305957

膜状電子回路のための金属薄膜相互接続の設計および性能

Design and Performance of Thin Metal Film Interconnects for Skin-Like Electronic Circuits
著者 (4件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 179-181  発行年: 2004年04月 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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1mm厚さのポリジメチルシロキサン基板を予め15%伸長した後...
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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