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J-GLOBAL ID：200902230856816475   整理番号：07A0478727

高感度温度センサ用の高品質Ni_1-xPt_x膜の作製

Fabrication of High Quality Ni_1-xPt_x Films for Use as Materials in High-Sensitivity Temperature Sensor

著者 (6件)： SATO Yutaka (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  ISHIBASHI Takayuki (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  OBARA Keisuke (Yamatake Corp., Kanagawa, JPN) ,  ICHIDA Shunji (Yamatake Corp., Kanagawa, JPN) ,  MORISHITA Yoshitaka (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN) ,  SATO Katsuaki (Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 46  号： 12-16  ページ： L297-L299  発行年： 2007年04月25日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高品質Ni_1-xPt<sub>x</s...

シソーラス用語： *温度センサ ,...
準シソーラス用語： *RFマグネトロンスパッタリング

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  温度測定,温度計  (AD06010K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高感度 ,  温度センサ ,  高品質 ,  作製