レーザーSQUID顕微鏡による半導体検査

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J-GLOBAL ID：200902230904604825 整理番号：05A0008571

Laser SQUID Microscope for Semiconductor Testing

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 29 号： 1 ページ： 14-19 発行年： 2005年01月01日
JST資料番号： Z0944A ISSN： 0285-0192 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

高温超伝導体によるSQUID磁束計とレーザから成るレーザSQ...

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固体デバイス計測・試験・信頼性 , Josephson接合・素子

引用文献 (15件)：

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