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J-GLOBAL ID：200902231213342774   整理番号：03A0788207

セミアディティブ法による20μmリードピッチ以下のCOFテープ

著者 (3件)： 松浦亮 (日立電線 電線工場 開発部) ,  珍田聡 (日立電線 電線工場 開発部) ,  杉本洋 (日立電線 電線工場 開発部)
資料名： マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集  (エレクトロニクス実装学会秋季大会論文集)
巻： 13th  ページ： 304-307  発行年： 2003年10月16日 
JST資料番号： X0060A  ISSN： 2434-396X  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微細配線形成に有利なセミアディティブ法による標記のCOF(C...

シソーラス用語： メタライゼーション ,...
準シソーラス用語： セミアディティブ法 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： リード ,  ピッチ ,  COF ,  テープ