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J-GLOBAL ID：200902231235997286   整理番号：08A0503937

デジタル出力型高精度MEMS加速度センサーによるデータロガーの開発

著者 (4件)： 黒田徹 (地球科学総合研) ,  村上文俊 (地球科学総合研) ,  川部喜朗 (地球科学総合研) ,  渡辺義孝 (地球科学総合研)
資料名： 物理探査学会学術講演会講演論文集  (Proceedings of the SEGJ Conference)
巻： 118th  ページ： 31-34  発行年： 2008年05月 
JST資料番号： L2581A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 海外製品で入手可能な高精度センサーの導入を図り,デジタル出力型の高精度MEMS加速度センサーを利用したデータロガーを開発し,その装置の概要と評価を報告した。評価の結果によると,ほぼ予想したノイズレベルでデータ収録が出来た。低周波数ではノイズが増える傾向にあるが,高感度の自然地震観測,かつ広帯域・高ダイナミックレンジの観測に利用できると期待される。

シソーラス用語： LF【周波数】 ,  *MEMS ,  ディジタル記録 ,  *データロガー ,  *加速度 ,  *速度センサ ,  地震観測
準シソーラス用語： *MEMS加速度センサー ,  デジタル出力型 ,  自然地震観測 ,  低周波数

分類 (1件)： 地震探査  (DE10030B)

引用文献 (5件)：

• 相澤隆生. 地震探査のためのMEMS加速度センサの検討. 物理探査学会第116回学術講演会論文集, 2007. 2007, 79-82
• 相澤隆生. MEMS加速度センサ素子を用いた3成分受振器の特性. 物理探査学会第117回学術講演会論文集, 2007. 2007, 155-156
• 西澤充智. 高感度シリコン容量型加速度センサのための低雑音回路の開発とフィールド試験による性能評価. 物理探査学会第108回学術講演会論文集, 2003. 2003, 134-137
• 大竹雄次. 地震計の現状とMEMSへの期待. 日本機械学会, 講習会教材, 2004. 2004, 41-46
• GIBSON, J. MEMS sensors : Some issues for consideration. The Leading Edge. 2005, 24, 786-790

タイトルに関連する用語 (5件)： デジタル出力 ,  MEMS ,  加速度センサー ,  データロガー ,  開発