抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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真空には,低真空から極高真空まで15けたにわたる広い領域が存在する。望みの真空を作るには,真空容器からのガス放出に留意しながら,目的に応じた真空ポンプを利用する。作った真空の圧力を測定するには,圧力領域に適した真空計を用いる。典型的な真空ポンプと真空計の原理を考えながら,真空の作り方と測り方について解説する。(著者抄録)