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J-GLOBAL ID：200902231772163782   整理番号：08A0478267

振動エネルギーハーベスト用のMEMS利用圧電発電器アレイ

A MEMS-based piezoelectric power generator array for vibration energy harvesting

著者 (8件)： LIU Jing-quan (National Key Lab of Micro/Nano Fabrication Technol., Key Lab for Thin Film and Micro-fabrication Technol. of ...) ,  FANG Hua-bin (National Key Lab of Micro/Nano Fabrication Technol., Key Lab for Thin Film and Micro-fabrication Technol. of ...) ,  XU Zheng-yi (ACS Sensors Lab, Honeywell, Shanghai 201203, CHN) ,  MAO Xin-hui (ACS Sensors Lab, Honeywell, Shanghai 201203, CHN) ,  SHEN Xiu-cheng (National Key Lab of Micro/Nano Fabrication Technol., Key Lab for Thin Film and Micro-fabrication Technol. of ...) ,  CHEN Di (National Key Lab of Micro/Nano Fabrication Technol., Key Lab for Thin Film and Micro-fabrication Technol. of ...) ,  LIAO Hang (ACS Sensors Lab, Honeywell, Shanghai 201203, CHN) ,  CAI Bing-chu (National Key Lab of Micro/Nano Fabrication Technol., Key Lab for Thin Film and Micro-fabrication Technol. of ...)
資料名： Microelectronics Journal  (Microelectronics Journal)
巻： 39  号： 5  ページ： 802-806  発行年： 2008年05月 
JST資料番号： A0186A  ISSN： 0026-2692  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小電気機械システム(MEMS)技術により作られた圧電発電素子は低水準の周辺振動源から電力を取り出すことができる。開発したMEMS発電素子は,固定/狭い動作周波数,マイクロワットレベルの出力電力で特徴づけられているが,周辺振動の周波数はある範囲で揺らぎ,出力電力は不十分である。本論文では,厚膜圧電カンチレバーを用いた発電素子アレイを研究し,周波数の融通性と出力電力を改善した。圧電カンチレバーアレイを設計し作製した。このカンチレバーアレイは周波数に同調し,周辺の低周波振動に励振周波数帯域幅を広げることができた。このアレイのカンチレバーどうしの直列接続を研究した。プロトタイプ発電素子は,3.98μWの実効電力と抵抗負荷に3.93DC出力電圧の測定性能を示した。このデバイスは超低電力,ピアツーピア,ワイヤレスノードのネットワーク支援に有望である。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： エネルギー回収 ,  *振動エネルギー ,  *発電設備 ,  MEMS ,  片持梁 ,  直列接続 ,  アレイ回路 ,  マイクロマシニング ,  厚膜 ,  圧電気振動 ,  圧電気 ,  持続可能な開発 ,  エネルギー変換
準シソーラス用語： *発電装置

分類 (2件)： その他の発電  (NB03140M) ,  発電機  (NB07020J)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  圧電発電 ,  アレイ