抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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精密工学会創立75周年記念特集の一環である精密工学各分野の現状として,本報では機械の運動性能がアクチュエータの性能で決まることから体積や重量当たりのトルクやパワーが大きく,効率が良く,制御しやすいアクチュエータの研究について紹介し解説した。主な内容項目を次に示した。1)概要:各種産業用機械,精密機器やロボットの位置決めや運動制御に多用されるアクチュエータであるサーボモータの技術動向,位置決め制御でのリニアモータ利用の拡大,回転モータでのダイレクトドライブモータの利用,2)圧電素子の利用の拡大:PZT(Pb(ZrTi)O
3)に代表される圧電特性の優れたセラミックスの開発と製造技術の進歩による圧電素子の普及,圧電素子の利用形態,超音波モータ,ディーゼルエンジンのコモンレール式電子制御噴射システムのインジェクタに圧電アクチュエータの利用,PZTの鉛対策,3)マイクロアクチュエータ:MEMSの進展に伴う種々の方式の静電マイクロアクチュエータの開発,携帯端末機器用の圧電アクチュエータ,静電アクチュエータ,電磁型アクチュエータの開発,薄型アクチュエータの開発,4)筋肉をめざすアクチュエータ:ロボットの腕や指用のゴム空気圧アクチュエータの開発,高分子アクチュエータの開発(電歪効果を利用したEPAMおよびイオン移動を利用したIPMC),形状記憶合金の利用,静電モータの利用,筋肉を利用したアクチュエータの研究など。