Besselビームを用いたレーザマイクロドリリングの特性

MATSUOKA Y.; KIZUKA Y.; INOUE T.

文献

J-GLOBAL ID：200902231832757636 整理番号：06A0604727

Besselビームを用いたレーザマイクロドリリングの特性

The characteristics of laser micro drilling using a Bessel beam

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巻： 84 号： 4 ページ： 423-430 発行年： 2006年09月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

加工厚及び交差角へのしきい値フルエンスの依存性を,Besse...

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固体デバイス製造技術一般 , レーザの応用

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