文献

J-GLOBAL ID：200902232579862882   整理番号：06A0204906

ナノインプリントリソグラフィーによるガラス基板上へのフォトニック結晶の直接形成

Direct Fabrication of Photonic Crystal on Glass Substrate by Nanoimprint Lithography

著者 (5件)： ISHIHARA Kuniaki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  FUJITA Masayuki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  MATSUBARA Ippei (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  ASANO Takashi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  NODA Susumu (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 45  号： 4-7  ページ： L210-L212  発行年： 2006年02月25日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 直接ナノインプリントリソグラフィーによる,300nm間隔を有...

シソーラス用語： *リソグラフィー ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=06A0204906&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0599B") }}

分類 (2件)： 光集積回路,集積光学  (BD06050D) ,  量子光学一般  (BD04010X)

引用文献 (21件)：

• NODA, S. ed. Roadmap on Photonic Crystal. 2003
• FAN, S. Phys. Rev. Lett. 1997, 78, 3294
• BORODITSKY, M. J. Lightwave Technol. 1999, 17, 2096
• FUJITA, M. Electron. Lett. 2003, 39, 1750
• FUJITA, M. Jpn. J. Appl. Phys. 2005, 44, 3669

タイトルに関連する用語 (3件)： ナノインプリントリソグラフィー ,  ガラス基板 ,  フォトニック結晶