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J-GLOBAL ID：200902232864382720   整理番号：08A0416028

片側電極型ミニチュア流体利用傾斜計の特性評価

Characterization of miniaturized one-side-electrode-type fluid-based inclinometer

著者 (3件)： MANAF Asrulnizam Bin Abd (Fac. of Sci. and Technol., Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...) ,  NAKAMURA Kazumasa (Fac. of Sci. and Technol., Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...) ,  MATSUMOTO Yoshinori (Fac. of Sci. and Technol., Dep. of Applied Physics and Physico-Informatics, Keio Univ., 3-14-1 Hiyoshi, Kohoku-ku ...)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 144  号： 1  ページ： 74-82  発行年： 2008年05月28日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,電気二重層理論を応用して,相補型金属酸化物半導体(CMOS)回路との組合せによる片側電極型流体式傾斜角計を実現している。高いアスペクト比のSU-8コンテナモールド作製に基板浸透リソグラフィーを適用し,高さ1.0mmをもつモールドをつくった。ポリジメチルシロキサン(PDMS)をコンテナ材料として用い,セラミック基板上に電極を設けた。電気二重層の特性,低い表面張力,誘電率と揮発性の問題を考慮に入れて,メタノールとプロピレンカーボネートを電解質としてテストした。電荷平衡容量電圧(C-V)変換回路を,このセンサの検出回路として設計し,これを0.35μm-CMOS技術を用いて作製した。このセンサ部分と検出回路を1個のセラミックパッケージ内に集積し,傾斜角度センサシステムの小型化を実現した。PDMS表面の表面張力を打ち消すために,コンテナ内にシリコーンオイルを注入して内部全体を被覆し,コンテナ内の溶液の流動が滑らかになった。Φ4.0mm×1.0mm(直径×厚み)のコンテナ寸法の場合には±60°の傾斜勾配のアナログ出力の直線性は6%F.S以下の誤差に納まった。プロピレンカーボネートを電解質として使用したときの最小の動き角度と応答時間は,それぞれ,0.4°と0.9sである。0~50°Cの間では,温度の変化はこのセンサ出力電圧には影響しない。振動が与える影響について説明した。Copyright 2008 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *傾斜角 ,  *傾斜計 ,  性能評価 ,  小型化 ,  電気二重層 ,  コンデンサ ,  実装設計 ,  静電容量 ,  センサ ,  ポリジメチルシロキサン ,  リソグラフィー ,  MEMS ,  CMOS構造 ,  容量電圧特性 ,  変換器 ,  電圧 ,  角度依存性 ,  勾配 ,  改変 ,  MOS構造
準シソーラス用語： 傾度

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： ミニチュア ,  流体 ,  傾斜計 ,  特性評価