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J-GLOBAL ID：200902233140993537   整理番号：05A1046551

零周波数温度特性をもつSiO₂/Al,Cu/圧電性基板構造の弾性表面波伝搬特性の解析と実験的検討

著者 (3件)： 山之内和彦 (東北工大) ,  横山司 (東北工大) ,  佐藤悠介 (東北工大)
資料名： 圧電材料・デバイスシンポジウム  (圧電材料・デバイスシンポジウム講演論文集)
巻： 2005  ページ： 153-158  発行年： 2005年02月23日 
JST資料番号： L5218A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 弾性表面波デバイスの特性はその圧電基板材料に依存する所が大き...

シソーラス用語： *弾性表面波 ,...
準シソーラス用語： 電気機械結合係数 ,...

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分類 (3件)： 弾性表面波デバイス  (NC03120T) ,  固体の音波物性一般  (BL02031U) ,  圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M)

タイトルに関連する用語 (9件)： 温度特性 ,  SiO2 ,  Al ,  Cu ,  圧電性基板 ,  弾性表面波 ,  伝搬特性 ,  解析 ,  実験