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J-GLOBAL ID：200902233225866224   整理番号：05A0459714

自作電子衝撃加熱装置による高融点チタン金属の真空蒸発

Vacuum Evaporation of High Melting-Temperature Metal, Ti, by Handmade Electron Bombardment System

著者 (4件)： 堀尾吉み (大同工大 工) ,  原裕一郎 (大同工大 工) ,  山本宜孝 (大同工大 工) ,  森本裕樹 (大同工大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 48  号： 4  ページ： 282-285  発行年： 2005年04月20日 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子衝撃加熱装置を構成し,高融点金属であるTiの蒸着を行った...

シソーラス用語： 高融点金属 ,...

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分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

引用文献 (3件)：

• 1) K. Uozumi: Hakumaku Sakusei Handbook (Kyouritsu Syuppan, Tokyo, 1991) p. 172 [in Japanese].
• 2) K. Shinohara: Hakumaku Sakusei Ouyou Handbook (NTS, Tokyo, 1995) p. 300 [in Japanese].
• 3) Y. Horio, Y. Hara, N. Yamamoto and H. Morimoto: submitted to Jpn. J. Appl. Phys.

タイトルに関連する用語 (5件)： 電子衝撃 ,  加熱装置 ,  高融点 ,  チタン ,  真空蒸発