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J-GLOBAL ID：200902233256238930   整理番号：04A0418457

LSIチィップにおけるデバイス特性変化の集積デバイスマトリックスアレイを用いた解析とキャラクタリゼーション

Analysis and Characterization of Device Variations in an LSI Chip Using an Integrated Device Matrix Array

著者 (3件)： OHKAWA S (Semiconductor Technol. Acad. Res. Center (STARC), Yokohama, JPN) ,  AOKI M (Tokyo Univ. Sci., Nagano, JPN) ,  MASUDA H (Semiconductor Technol. Acad. Res. Center (STARC), Yokohama, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 17  号： 2  ページ： 155-165  発行年： 2004年05月 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 将来の大規模集積設計技術のために,デバイスパラメータのチップ...

シソーラス用語： *キャラクタリゼーション ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： LSI ,  デバイス特性 ,  集積デバイス ,  マトリックスアレイ ,  解析 ,  キャラクタリゼーション