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J-GLOBAL ID：200902233281548839   整理番号：09A0781294

再加工可能なUV硬化樹脂 インプリントリソグラフィーへの応用

A UV curable resin with reworkable properties: application to imprint lithography

著者 (6件)： MATSUKAWA Daisaku (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  WAKAYAMA Hiroyuki (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  MITSUKURA Kazuyuki (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  OKAMURA Haruyuki (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  HIRAI Yoshihiko (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  SHIRAI Masamitsu (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 19  号： 24  ページ： 4085-4087  発行年： 2009年06月28日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 鋳型のプラスチックレプリカを作るための新しいUV硬化樹脂を調製した。得られた樹脂は光硬化性でありかつ光熱分解性であることがわかった。二官能性のメタクリル酸エステルモノマADMAとCDMAを合成し,それぞれのモノマと光ラジカル開始剤である2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン,光酸生成剤トリフェニルスルホニウムトリフラートを混合し,スピンキャスト後,365nmでUV照射することにより,硬化を行うことができた。得られた樹脂は154~156°Cまで安定であるが,強酸の存在下では室温で分解することがわかった。この樹脂をインプリントリソグラフィーのオリジナル鋳型のプラスチックレプリカの調製に応用した。石英基板上に分解性UV硬化樹脂を乗せ,けい素鋳型を置いて樹脂をプレス後365nmの光照射により樹脂を硬化させ,けい素鋳型をはずす。次に一次パターンの上に通常のUV硬化性樹脂PAK-01を被覆し,PET膜を乗せて樹脂をプレスする。石英板側から365nmでの照射により樹脂を硬化後,254nmで照射する。光酸生成剤は254nmの光に感受性であるので,石英基板を除去後新しい紫外硬化樹脂はメタノールに溶解しPET膜上にオリジナル鋳型のプラスチック鋳型である二次鋳型が得られた。

シソーラス用語： *光重合型樹脂 ,  *リソグラフィー ,  *再加工 ,  光酸発生剤 ,  鋳型材料 ,  鋳型【鋳造】 ,  *紫外線硬化樹脂
準シソーラス用語： *インプリントリソグラフィー

分類 (3件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U) ,  成形工程とその装置一般  (YH04030C)

物質索引 (4件)： α,α-ジメトキシ-α-フェニルアセトフェノン ,  ジメタクリル酸1,4-シクロヘキサンジイルビス[メチレンオキシ(1,1-エタンジイル)] ,  ジメタクリル酸1,5-アダマンタンジイルビス[カルボニル(オキシエチレンオキシ)(1,1-エタンジイル)] ,  トリフェニルスルホニウム・トリフラート

タイトルに関連する用語 (3件)： UV硬化樹脂 ,  インプリントリソグラフィー ,  応用