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J-GLOBAL ID：200902233998697391   整理番号：06A0242184

サブミクロンの測定精度を有する小型2軸球面モータ型レーザ追尾距離測定装置の開発

Development of a Small Two Axis Spherical Motor Type Laser Tracker with Submicron Measurement Accuracy

著者 (6件)： 矢野智昭 (産業技術総合研) ,  高辻利之 (産業技術総合研) ,  大沢尊光 (産業技術総合研) ,  鈴木健生 (安川電機) ,  本村洋一 (安川電機) ,  板部忠喜 (安川電機)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 126  号： 4  ページ： 144-149  発行年： 2006年04月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サブミクロンの測定精度を有する高精度三次元座標測定機を提案し...

シソーラス用語： *距離計 ,...
準シソーラス用語： 球面モータ

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分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (15件)：

• (1) T. Yano et. al. : “Actuator engineering”, Yokendo, Japan (2004) (in Japanese)
• 矢野智昭ほか:アクチュエータ工学,養賢堂 (2004)
• (2) T. Higuchi et. al. : “Research and development for the next generation actuator technology”, report of the study result on 2002 Grant-in-Aid for Scientific Research (Basic Research(C)(1)) No. 14605004 (2003) (in Japanese)
• 樋口俊郎ほか:「次世代アクチュエータ技術の予測調査研究」,平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(1))研究成果報告書 (2003)
• (3) T. Yano : “Multi dimensional drive system”, Proc. of the symposium on Power Electronics, Electrical Drives, Automation & Motion, Vol. 2, pp. T3A-21-T3A-24 (2004)

タイトルに関連する用語 (8件)： サブ ,  測定精度 ,  2軸 ,  球面モータ ,  レーザ ,  追尾 ,  距離測定装置 ,  開発