固体エピタクシーによるSi(111)上でのPtSi形成のSTM研究

WAWRO A.; WAWRO A.; SUTO S.; KASUYA A.

文献

J-GLOBAL ID：200902234645367181 整理番号：06A0096029

固体エピタクシーによるSi(111)上でのPtSi形成のSTM研究

STM studies of PtSi formation on Si(111) by solid state epitaxy

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資料名：
巻： 72 号： 20 ページ： 205302.1-205302.10 発行年： 2005年11月
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

PtSi薄層の形成過程と表面構造を走査型トンネル顕微鏡法によ...

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金属薄膜 , 半導体の表面構造

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