文献

J-GLOBAL ID：200902235178494367   整理番号：09A0291470

加速器ビームダクト用TiNコーティングシステムの開発

Development of TiN Coating System for Long Beam Ducts of Accelerators

著者 (5件)： 柴田恭 (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  久松広美 (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  金澤健一 (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  末次祐介 (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設) ,  白井満 (高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設)
資料名： Journal of the Vacuum Society of Japan  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 52  号： 2  ページ： 99-101 (J-STAGE)  発行年： 2009年 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 1882-2398  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 加速器で使用する長尺ビームダクト用のTiNコーティングシステムの開発を行った。コーティング方法はDCマグネトロンスパッタリング方式とした。本装置では,ダクトを縦置きにして陽電極であるチタンパイプを上端から垂らす方式を採用することにより,チタンパイプのダクト中心軸上からのずれが小さくなるようにした。また,マグネトロン放電用のソレノイドコイルは可動式とし,コイルを一定時間ごとに少しずつ動かすことで,ダクト内部にほぼ均等の厚さのTiN膜を生成することができた。本装置を用いて,KEKB用の長さ3.6mのビームダクトにTiNコーティングを行った。ダクト内面目視検査によりコーティングが全体に施されていることを確認した。KEKB LERでのビームを使った結果,TiNコーティングによってダクト内の電子密度が約67%に減少していることが観測され,本装置で行ったTiNコーティングが十分実用的であることが確認された。

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *被覆 ,  加速器 ,  *スパッタ蒸着 ,  *ビームライン ,  ソレノイド形コイル
準シソーラス用語： 窒化チタン ,  コーティング

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (6件)：

• 1) 例えば K. Ohmi: Phys. Rev. Lett., 75 (8) (1995) 1526.
• 2) Y. Suetsugu, K. Kanazawa, K. Shibata and H. Hisamatsu: NIM-PR-A, 578 (2007) 470.
• 3) Y. Suetsugu, K. Kanazawa, K. Shibata and H. Hisamatsu: NIM-PR-A, 556 (2006) 399.
• 4) P. He, H. C. Hseuh, M. Mapes, R. Todd, D. Weiss and D. Wilson: J. Vac. Sci. Technol. A, 22 (3) (2004) 705.
• 5) K. Shibata, H. Hisamatsu, K. Kanazawa, Y. Suetsugu and M. Shirai: Proceedings of the 4^th Annual Meeting of Particle Accelerator Society of Japna and the 32^th Linear Accelerator Meeting in Japan, Wako, Japan, (2007) 209. [in Japanese]

タイトルに関連する用語 (5件)： 加速器 ,  ビームダクト ,  TiN ,  コーティング ,  開発