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J-GLOBAL ID:200902235386320666   整理番号:04A0415698

寒天ミクロ培養チップ内に三次元微細構造を非接触で作成するための1480/1064nmの二波長による光熱エッチングシステム

A 1480/1064 nm dual wavelength photo-thermal etching system for non-contact three-dimensional microstructure generation into agar microculture chip
著者 (4件):
資料名:
巻: B100  号:ページ: 455-462  発行年: 2004年05月15日 
JST資料番号: T0967A  ISSN: 0925-4005  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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寒天ミクロ培養チップの新規なエッチング法を開発した。2つの異...
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  分析機器 
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