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J-GLOBAL ID：200902235524015365   整理番号：09A1284042

光ファイバプローブを用いた微小径穴形状精度測定システムの開発(第1報)-光学的解析および精度評価-

Development of a Micro Hole Measuring System Using an Optical Fiber Probe (1st Report)-Optical Analysis and Accuracy Evaluation-

著者 (5件)： 村上洋 (鹿児島大) ,  甲木昭雄 (九大) ,  鬼鞍宏猷 (九大) ,  佐島隆生 (九大) ,  近藤英二 (鹿児島大)
資料名： 精密工学会誌(CD-ROM)  (精密工学会誌論文集)
巻： 75  号： 12  ページ： 1476-1481  発行年： 2009年12月05日 
JST資料番号： F0268B  ISSN： 1348-8716  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,直径100μm以下の微小径穴内壁の表面粗さや真円度,真直度,円筒度,穴径などの形状精度を高精度に測定することを目的とし,微小径・低測定力・高アスペクト比のプローブが容易に得られ,測定範囲が広く走査プローブとして利用可能な光ファイバを用いた新しい測定原理を提案した。提案プローブでは接触子の穴壁接触に伴う変位をレーザで非接触計測するために,プローブシャフトの弾性の影響がなく,微細径で剛性が低いプローブでも接触検知・変位量の測定が可能である。本報では,幾何光線追跡シミュレーションを用いた光学系設計パラメータの最適化について検討した。また解析結果から得られた設計パラメータをもとに測定装置を試作し,シミュレーション結果の検証実験および測定分解能の方向依存性評価を目的とした基礎実験を行い,本装置の有用性を確認した。これにより得た主な知見を次に示した。1)幾何光線追跡シミュレーションを行い,光学系設計パラメータを最適化し装置の試作をしたこと,2)シミュレーション結果の検証実験を行い,解析結果と実験結果が一致し,シミュレーションの有用性を確認したこと,3)測定分解能の方向依存性評価を行い,接触方向に関係なく15nm以上の測定分解能を有すること。

シソーラス用語： *形状測定 ,  スルーホール ,  *細孔 ,  光ファイバ ,  *光ファイバセンサ ,  微細構造 ,  形状精度 ,  半導体レーザ ,  *計測システム ,  光線追跡 ,  *測定精度 ,  計算機シミュレーション ,  性能評価 ,  最適設計

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

タイトルに関連する用語 (8件)： 光ファイバプローブ ,  小径 ,  形状精度 ,  測定システム ,  開発 ,  光学 ,  解析 ,  精度評価