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J-GLOBAL ID：200902236665222182   整理番号：04A0504589

40および400kHzの周波数での空気結合超音波変換器を用いたサブマイクロメータオーダでの変位測定

Submicrometer-Order Displacement Measurements Using an Air-Coupled Ultrasonic Transducer at Frequencies of 40 and 400 kHz

著者 (3件)： SASAKI K (Akita Univ., Akita, JPN) ,  NISHIHIRA M (Akita Univ., Akita, JPN) ,  IMANO K (Akita Univ., Akita, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 43  号： 5B  ページ： 3071-3075  発行年： 2004年05月30日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 40および400kHzの周波数でマイクロメータないしサブマイ...

シソーラス用語： *超音波変換器 ,...

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分類 (1件)： 音響変換器,その他の機器  (BB03060N)

引用文献 (16件)：

• 1) J. Loschbetger and V. Magori: Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1987) 547.
• 2) J. S. Shoenwald: Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1985) 472.
• 3) D. Marioli, C. Narduzzi, C. Offelli, D. Petri, E. Sardini and A. Taroni: IEEE Trans. Instrum. Meas. 41 (1992) 93.
• 4) M. Parrilla, J. J. Anaya and C. Frisch: IEEE Trans. Instrum. Meas. 40 (1991) 759.
• 5) M. Horiuchi: Automation 45 (2000) 30 [in Japanese].

タイトルに関連する用語 (2件)： 超音波変換器 ,  変位測定