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J-GLOBAL ID:200902237173417537   整理番号:09A0063216

ナノ秒パルス放電プラズマの特性とその応用展開

Introduction of Nano-seconds Pulsed Discharge Plasma and its Applications
著者 (5件):
資料名:
巻: 129  号:ページ: 7-14 (J-STAGE)  発行年: 2009年 
JST資料番号: S0808A  ISSN: 0385-4205  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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電気的放電により形成される非熱平衡プラズマは,その化学的活性度の高さから,排気ガスの浄化やオゾンの生成など,多岐にわたる応用展開が期待され,継続した研究がなされている。しかしながら,そのエネルギー効率の低さが大きな障壁となっており,未だその実用化例は多くはない。エネルギー効率の改善には,如何に放電を熱平衡プラズマの1種であるアーク放電へ移行させないかが鍵のひとつである。その方法としては,電極間へ誘電体を挿入する誘電体バリア放電法と印加する電圧波形によりアーク放電への移行を防ぐパルス放電法が挙げられる。これまでの研究においては,完成された域にある誘電体バリア放電に関する研究が圧倒的多数であった。昨今のパルスパワー電源の高性能化に伴い,パルス放電による非熱平衡プラズマ形成に関する研究の敷居が低くなっている。そのため,本稿では,一般的なパルス放電プラズマの諸特性を紹介するとともに,著者が最高のエネルギー効率をもたらすと考えている「ナノ秒パルス放電」について紹介した。
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分類 (1件):
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プラズマ応用 
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