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文献
J-GLOBAL ID:200902238066115788   整理番号:06A0781374

PLD低温成膜・ポストアニール法によるエピタキシャル酸化物薄膜の研究

著者 (4件):
資料名:
巻: 2006  ページ: 140  発行年: 2006年 
JST資料番号: X0038A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
塩基,金属酸化物  ,  酸化物薄膜 

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