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J-GLOBAL ID：200902238167474410   整理番号：08A0605107

10μm遮断波長をもつInAs-GaSb超格子を利用した高性能なフォーカルプレーンアレイ

High-Performance Focal Plane Array Based on InAs-GaSb Superlattices With a 10-μm Cutoff Wavelength

著者 (4件)： DELAUNAY Pierre-Yves (Northwestern Univ., IL, USA) ,  NGUYEN Binh Minh (Northwestern Univ., IL, USA) ,  HOFFMAN Darin (Northwestern Univ., IL, USA) ,  RAZEGHI Manijeh (Northwestern Univ., IL, USA)
資料名： IEEE Journal of Quantum Electronics  (IEEE Journal of Quantum Electronics)
巻： 44  号： 5-6  ページ： 462-467  発行年： 2008年05月 
JST資料番号： H0432A  ISSN： 0018-9197  CODEN： IEJQA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 長波長赤外領域(LWIR,7~14μm)における赤外光子画像には,ミサイル防衛,高速赤外現象探査,ハイパースペクトル画像,航空機自衛手段などの重要な用途がある。本報告は,10μm波長光に50%遮断波長をもつn型GaSb基板上に成長させたII型InAs-GaSb超格子を基礎にしたフォーカルプレーンアレイについて述べる。ダブルヘテロ構造設計を用いて,フリップフロップボンディングとアンダーフィル製造プロセスの後にこのII型デバイス内に生じる表面漏れ電流を抑制している。SiO₂を用いてパッシベーション処理したダイオードのアンダーフィル処理後のR₀Aは23Ω・cm²である。Indigo読取集積回路に混成集積化したフォーカルプレーンアレイは,81K温度で33mKの等価雑音温度を示した。このフォーカルプレーンアレイは迅速なフレームレートでしかも高感度撮像に向けてさらなる改善が期待できる。

シソーラス用語： *赤外検出器 ,  光センサ ,  ヒ化インジウム ,  アンチモン化ガリウム ,  超格子 ,  MEMS ,  ヘテロ接合 ,  素子構造 ,  *フォトダイオードアレイ検出器 ,  フォトダイオード ,  *混成集積回路 ,  *赤外線画像 ,  撮像装置
準シソーラス用語： フォーカルプレーンアレイ

分類 (2件)： 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器  (BD07032W) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 遮断 ,  波長 ,  InAs ,  GaSb ,  超格子 ,  フォーカルプレーンアレイ