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J-GLOBAL ID：200902238469963339   整理番号：07A0777803

気体プラズマによるRu薄膜の酸化と還元

Oxidation and reduction of thin Ru films by gas plasma
著者 (6件)：
IWASAKI Y.

IWASAKI Y. について

(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)

Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN について

, 
IZUMI A.

IZUMI A. について

(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)

Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN について

, 
TSURUMAKI H.

TSURUMAKI H. について

(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)

Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN について

, 
NAMIKI A.

NAMIKI A. について

(Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN)

Dep. of Electrical Engineering, Kyushu Inst. of Technol., Kitakyushu 804-8550, JPN について

, 
OIZUMI H.

OIZUMI H. について

(Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET), EUV Process Technol. Res. Lab, Wakamiya, Atsugi, Kanagawa ...)

Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET), EUV Process Technol. Res. Lab, Wakamiya, Atsugi, Kanagawa ... について

, 
NISHIYAMA I.

NISHIYAMA I. について

(Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET), EUV Process Technol. Res. Lab, Wakamiya, Atsugi, Kanagawa ...)

Assoc. of Super-Advanced Electronics Technologies (ASET), EUV Process Technol. Res. Lab, Wakamiya, Atsugi, Kanagawa ... について


資料名：
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

Applied Surface Science について


巻： 253  号： 21  ページ： 8699-8704  発行年： 2007年08月31日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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Si(100)表面に成長させたRu薄膜の酸化と還元をX線光電...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*ルテニウム

ルテニウム について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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プラズマプロセシング

プラズマプロセシング について


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分類 (3件)：
分類
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金属薄膜 
(BK14030T)

金属薄膜 について

,  その他の無触媒反応 
(CB06070U)

その他の無触媒反応 について

,  プラズマ応用 
(BJ02110K)

プラズマ応用 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した文献タイトルの用語をもとにしたキーワードです
気体

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プラズマ

プラズマ について

, 
Ru

Ru について

, 
薄膜

薄膜 について

, 
酸化

酸化 について

, 
還元

還元 について


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