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J-GLOBAL ID：200902238521297466   整理番号：08A0465990

FIB-SEM複合装置を用いた材料の3次元評価技術

著者 (1件)： 村田薫 (日本エフイー・アイ アプリケーションラボラトリー)
資料名： 日本接着学会誌  (Journal of the Adhesion Society of Japan)
巻： 44  号： 5  ページ： 155-160  発行年： 2008年05月01日 
JST資料番号： G0749A  ISSN： 0916-4812  CODEN： NSEGE7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高い次元の商品の創出は,多くの基礎研究に依存しているが,それを支える解析ツールの高機能化の要求も高い。本稿では,数十ミクロンの範囲で材料の3次元可視化が可能な収束イオンビーム(FIB)を搭載したFIB-SEMの,解析ツールとしての可能性を紹介した。まず走査型(電子/イオン)顕微鏡の原理を概説し,次にFIBの原理及びFIB-SEMの特徴について解説した。更に,FIB加工によって得られる三次元再構築(シリアルFIBセクショニング法)について,原理,特徴,空間分解能,具体的観察例などについて,解説した。この方法が適した例として,材料内部の粒子や空隙の存在,亀裂メカニズムなどが,紹介されている。更には,EBSD検出器を搭載し,EBSDマップを利用することで結晶学的情報を反映させた三次元再構築の取得,Cryo技術による,応用範囲の拡大にも言及した。

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  *走査電子顕微鏡 ,  二次電子放出 ,  電子照射 ,  探触子 ,  イオン照射 ,  イオン顕微鏡法 ,  イオンビームスパッタリング ,  可視化 ,  三次元 ,  逐次反応 ,  加工面 ,  高分解能 ,  画像再構成 ,  多結晶 ,  分解能 ,  断面 ,  亀裂伝搬 ,  電子回折 ,  高傾角粒界 ,  小傾角粒界 ,  結晶粒界 ,  データ解析 ,  液体窒素 ,  凍結乾燥 ,  ファンデーション ,  はんだ ,  *電子顕微鏡観察 ,  計測器要素
準シソーラス用語： EBSD ,  *シリアルFIBセクショニング ,  ボイド ,  半田ボール

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： FIB-SEM ,  複合装置 ,  3次元 ,  評価