プラズマ支援分子ビームエピタクシーによるAlNの成長における動力学とエネルギー過程の影響

文献

J-GLOBAL ID：200902238655777324 整理番号：06A0756643

Roles of Kinetics and Energetics in the Growth of AlN by Plasma-Assisted Molecular Beam Epitaxy

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資料名：
巻： 49 号： 3 ページ： 908-912 発行年： 2006年09月15日
JST資料番号： T0357A ISSN： 0374-4884 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：韓国 (KOR) 言語：英語 (EN)

プラズマ支援分子ビームエピタクシー(MBE)によるAlNの成...

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半導体薄膜

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