酸化物半導体ガスセンサの高次構造制御

文献

J-GLOBAL ID：200902238861016518 整理番号：06A0077432

Control of High Order Structure for Oxide Semiconductor Gas Sensors

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資料名：
巻： 21 号： 3 ページ： 99-105 発行年： 2005年09月30日
JST資料番号： L3948A CODEN： KAGSEU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体ガスセンサにおいて,その材料設計の重要性を説明した。基...

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分析機器 , 酸化物薄膜

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