イオン搬送式イオナイザーの開発 (その6)  改良した荷電粒子搬送式イオナイザーの除電性能評価

文献

J-GLOBAL ID：200902238938164248 整理番号：03A0429226

Development of ion conveying type ionization system (part6)-Charge eliminating performance of improved ion conveying type ionizer-

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資料名：
巻： 21st ページ： 87-90 発行年： 2003年04月15日
JST資料番号： Y0789A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体,液晶製造の生産装置の狭いスペースで,静電気対策のため...

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空気浄化 , 固体デバイス製造技術一般

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